定義
去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式
雜質后的純水。國際
標準化組織ISO/TC 147規定的「去離子」定
去離子水
去離子水
圖片展(3張)義為：「去離子水完全或不完全地去除離子
物質，主要指採用
離子交換樹脂處理方法。」現在的工藝主要採用RO反滲透的方
法制取。應用離子交換樹脂去除水中的
陰離子和陽離子，但水中仍然
存在可溶性的有機物，可以
污染離子交換柱從而降低其
功效，去離子水存放后也容易引起
細菌的繁殖。
在半導體行業中，去離子水被稱為「超純水」或是「18兆歐水」。
去離子水的處理步驟
從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
1、先通過石英砂
過濾顆粒較粗的雜質
2、然後
高壓通過反滲透膜
3、最後一般還要經過一步紫外
殺菌以去除水中的
微生物
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。
相對而言，
蒸餾水只是先
氣化再
冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水
去離子水的特點
去離子水制取工藝及其特點
1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→
活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→後置保安過濾器→用水點。
（特點：污染比較大，自動化程度低，
初期投入低）
2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。
（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）
3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配製取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，
經濟，
發展潛力巨大的超純水製備工藝，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。
（特點：環保，自動化程度高，初期投入大，價格相
對比較貴）
